RND無塵室自動化傳輸
關於RND無塵室專用機械手臂,以及各類晶圓自動化傳輸裝置
產品特色:
台灣地區目前台積電tsmc遴選在內的,各類型機械手臂及自動化傳動裝置類,價格表現最具競爭力,最有工程品質的品牌,最適合新設備在產品規劃之初,列為未來6年內的使用規格,既使在半導體業者後段導入規格完之後,再回到前段仍然可以勝任。
半導體設備傳輸用機械手臂,12吋以及8吋
濕製程設備晶圓傳輸用機械手臂
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RND Flip Robot
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RND - Edge Grip Robot & Edge Grip Aligner
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2 port EFEM + Single Arm WTR with Track+CCD Aligner
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4 port EFEM + Dual Arm Multi hlade WTR(4+1 blades)
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Wet Robot; Overhang Scara WTR
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Single Arm WTR with Scara arm with Cartesian Z axis
12吋FOUP傳輸機構
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RND FHR (Foup Handling Robot) - Grip Type
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RND FHR (Foup Handling Robot)
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Foup Transfer Robot